中科院大連化物所、大連華海制氫設備有限公司共同研發的金屬鈀復合膜氫氣純化裝置日前完成了200m3/h規模工業化示范。該技術解決了多晶硅生產循環氫氣中痕量和超痕量雜質難以去除的難題。

該技術是大連化物所在國內外實現產業化的專利技術，可應用于我國幾十家多晶硅企業，對于推動電子信息、半導體、LED照明和光伏發電等戰略性新興產業發展具有重要意義。

據了解，在多晶硅生產過程中，原料帶進的各種超痕量金屬雜質(ppb級)會在多晶硅上沉積，對產品質量產生很大影響，而傳統變壓吸附和深冷技術難以對這些痕量和超痕量雜質進一步脫除。金屬鈀復合膜則可以對這些雜質進行有效攔截，使得各種雜質含量降低百倍以上，從而大大提高多晶硅產品純度和質量。

現場示范結果還表明，通過對循環氫氣進行純化，可使多晶硅質量均達到電子級標準。對于循環氫氣中含量有時會突然增大的甲烷或者氮氣，該純化裝置可以不斷將其從體系中去除，使大循環體系的氫氣質量得到明顯改善。采用其純化后的氫氣生產多晶硅，產品中金屬雜質含量相對穩定，表明該純化器可以為多晶硅穩定生產發揮保障作用。